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      • 产品名称:2英寸6片W620型设备
      • 产品介绍:
        主要技术参数:

        1、生长晶片尺寸: 2英寸6片;
        2、生长温度控制范围:300-1300℃;
        3、最大生长速度:大于3um/小时;
        4、反应室压力控制范围20-900托,连续可调,控制精度1托(200-900托);0.2托(20-200托);
        5、系统气密性:管路系统漏气率<1X10-9PaL/S;
        6、外延膜的均匀性和重复性优于±5%;
        7、配备:(可根据用户要求配置)
            4路气体:(H2,N2,NH3,SiH4)
            6路MO源:(TEG,TEA,TMA,Cp2Mg,TMG,TMin)
        7、主机外形尺寸:4800×800×2200mm(L×W×H)(不包括RF电源)

       

  • 技术支持 圭谷设计
  • 关键词: 消毒光源、深紫外LED、紫外消毒、紫外光源、DUV LED、UV LED、UVC、UVB