EN
|
中文
当前位置:
首页
-
产品中心
-
GaN-MOCVD设备
GaN-MOCVD设备
分享:
0
产品名称:2英寸3片W320型设备
产品介绍:
主要技术参数:
1、生长晶片尺寸:2英寸3片
2、生长温度控制范围:300℃-1250℃
3、最大生长速度:3um/小时
4、系统压力、真空度:
压力:小于780mmHg
真空:小于2.0×10-2torr
5、生长外延片厚度不均匀性:±3%
组分不均匀性:±3%
6、配备:(可根据用户要求配置)
4路气体:(H2,N2,NH3,SiH4)
6路MO源:(TEG,TEA,TMA,Cp2Mg,TMG,TMin)
7、主机外形尺寸:4800×800×2200mm(L×W×H)
(不包括RF电源)
关于杰生
企业简介
荣誉资质
发展历程
企业文化
人才招聘
产品介绍
GaN-MOCVD设备
特种外延片
深紫外LED芯片
深紫外LED封装
深紫外LED应用
UVA LED芯片
新闻中心
公司新闻
行业资讯
行业百科
DUV-LED百科
紫外线应用百科
事业加盟
前景
加盟条件
加盟流程
联系咨询
客户服务
注意事项
服务流程
服务网络
新浪微博
新浪博客
腾讯微博
网上商城
阿里巴巴
|
淘宝
|
地址:青岛市崂山区九水东路621号院士智谷E-2座青岛杰生电气有限公司
电话:86-532-88705925 / 88705926 / 88705928 转 8
032(市场部) 传真:0532-88705927
鲁ICP07004835
TOP
技术支持
圭谷设计
关键词: 消毒光源、深紫外LED、紫外消毒、紫外光源、DUV LED、UV LED、UVC、UVB